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2.标准气进样
进样可分为动态进样和静态进样两种方式。有些仪器如流程用气体分析器、实验室用非色散红外气体分析仪器、化学发光仪等应采用动态进样,标准气体,此时应当(在压力恒定流量稳定时进样)准确计量进样流量,---标准气体和被测气体在校准过程和测量过程中进样流量的一致性,防止由于流量的差异引起的误差。静态进样多用于气相色谱等分析仪器,目前已设计安装多种进样阀门如平面六通阀、拉杆阀、气动阀等等,这些阀门都含有定体积进样管。为了---在不同气瓶压力下取样体积的一致性,在完成取样动作,切断气源后,需停留10s左右再完成进样动作,以---取样压力和---压力平衡。当然在取样、进样之前,用样品充分清洗管路阀门,将其中的残余气体充分置换干净是勿容置疑的。稳定的不变的进样方式、准确的重复手法、时间间隔是进样的关键,是检测结果准确、---的关键。
关于影响标准气体量值稳定的因素
1、标准气体厂家讲解气瓶和阀门材料在气体充装前,要充分考虑到气体各组分与气瓶材料,阀门及密封材料的相容性,环境检测标准气体,作为标准气体的包装容器,碳钢,铝合金材料已被广泛应用。不同浓度,不同组分的标准气体是否和气瓶材料或阀门材料相容,直接影响到标准气体的。如,氟气,氯,氯,等与铝产生反应,不能用铝合金气瓶直接盛装。一定浓度的腐蚀性气体不能选择铜阀而需要选择不锈钢阀。
2、气瓶处理方法用于盛装标准气体的气瓶,内表面需进行常规处理和特殊处理,以---标准气体量值的稳定。处理方法包括加热除去气瓶内的水分,抽真空置换除去空气及其他杂质气体,湖南标准气体,内表面涂层使气瓶内表面减少与组份气体的物理吸附或化学反应;内表面钝化使气瓶内表---有好的惰性,有利于活泼性气体混合物的量值稳定。对于微量活泼性气体,正确地选择气瓶处理方法是制备标准气体的关键。
3、组成混合气体各组份原料气的纯度及杂质。除了材料相容性和进行适当的气瓶处理外,原材料的纯度是另一个值得注意的问题、如果原料中含有和配制组份相同的杂质,杂质的准确定量就直接影响到组分的量值、如制备氮气为背景气的1ppm---标准气体,除了要知道组分气的纯度外,还要知道高纯氮气中co2的含量。这样才能给出co2的准确量值。
4、气体组分的相容性如果配制氮气中no/n2标准气体,如果高纯氮中含有氧或充装中带入氧,那么混合气体就变成了no2/n2了、类似问题。
电子混合气体和计量学上的标准气体有许多相似的特点,但又有许多不同,电子混合气体除了要---其配制浓度的外,更需要气体具有优良的品质,换言之,电子混合气体必须要---混合好的气体中含有的有害杂质不能高于某值。在8in以上的ic生产线,也应对混合气体中含有的颗粒物进行控制和定值。
1、电子混合气体的气瓶处理
同其他气体不同,对盛装电子混合气体的气瓶的要求十分严格,否则,即便是混合气体配制的准确度再高,稳定性再好也无法使用。
首先混合气体的气瓶几何尺雨如体积、直径、瓶高度要满足用户要求。在半导体等领域,气瓶通常安放在气瓶柜内使用,气瓶柜的尺寸及连接的管阀件确定后,气瓶的高矮胖瘦就不能随心所欲了。对于不同种类的混合气在气瓶色标、警示标志等方面国外已有极其详细的标准,如美国的cga、欧盟的iso等,检测用标准气体,我们在此方面仍在认识和完善中。
2、电子混合气体配制装置技术要求
同其他标准气体制备不同的是,配制电子混合气体的装置似乎更为复杂,电子混合气体配气装置所用的管路必须是ep级别,材质为316l,精密压力表或压力传感器精度优于0.25级,材质316l。为---配制装置不产生污染使用前要求系统。
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